岡本無線電機の通販サイト | E-JUNCTION（イージャンクション）

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●SEMI Standard
E154
MECHANICAL INTERFACE SPECIFICATION
FOR 450mm LOAD PORT
　
●可動部はマッピングユニットを含め全てウエハ面下方にあり、パーティクル性能を向上させた構造。
●マッピングユニット（透過型センサ）をオプションにて取り付け可能。
●FOUPドック時の障害物検出機能を搭載。
●FOUP在荷時のFOUP有無、及び正常載置検出機能を搭載。

※要求仕様により、価格、納期が変動致します。
まずはお気軽にお問い合わせ下さい。