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メーカー品番 :TAS450 TYPE:A2

TDK(ティーディケイ) FOUPロードポート TAS450 TYPE:A2

TDK(ティーディケイ) FOUPロードポート TAS450 TYPE:A2

E-Junction価格 : 個別見積

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  • RoHS10対応

標準納期:納期確認後見積り回答させて頂きます

最低注文数:1 注文単位数:1 (単位:個)

メーカー:TDK(ティーディケイ)

メーカーURL:https://product.tdk.com/info/ja/catalog/datasheets/fa_foup_450-a2_ja.pdf

カテゴリ: その他 > 設備関連 > ロードポート

●SEMI Standard
E154
MECHANICAL INTERFACE SPECIFICATION
FOR 450mm LOAD PORT
 
●可動部はマッピングユニットを含め全てウエハ面下方にあり、パーティクル性能を向上させた構造。
●マッピングユニット(透過型センサ)をオプションにて取り付け可能。
●FOUPドック時の障害物検出機能を搭載。
●FOUP在荷時のFOUP有無、及び正常載置検出機能を搭載。

※要求仕様により、価格、納期が変動致します。
まずはお気軽にお問い合わせ下さい。

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