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手袋からの埃発生が少ないウーリーナイロン採用。発塵を抑え、クリーンな作業に適します。

手袋からの埃発生が少ないウーリーナイロン採用。発塵を抑え、クリーンな作業に適します。

手袋からの埃発生が少ないウーリーナイロン採用。発塵を抑え、クリーンな作業に適します。

手袋からの埃発生が少ないウーリーナイロン採用。発塵を抑え、クリーンな作業に適します。

手袋からの埃発生が少ないウーリーナイロン採用。発塵を抑え、クリーンな作業に適します。

手袋からの埃発生が少ないウーリーナイロン採用。発塵を抑え、クリーンな作業に適します。

業界最高レベルの軽量化・高速化を達成し価格競争力をも追求した新機種

【主な特長】
本製品は、半導体業界にて現行の製造で使われている直径300mmのシリコンウェハ搬送装置ですが、価格競争力を高めた新機種として開発しました。
2009年に市場投入しましたType H1シリーズの後継機種であり、装置全体の軽量化をはかり、重量比で1/2としました。
ウェハの出し入れをするドアの開閉スピードについては、H1シリーズ比で約40%速くすることが可能となりました。
また、ドアについては、TAS450 Type A2同様、パーティクルの発生と進入を防ぐよう工夫しました。

45nmクリーンテクノロジー

TAS300は、各種半導体製造装置に取り付けられ、半導体製造工程にて使用されるFOUP（Front Opening Unified Pod）を自動的に開閉するための標準ロードポートです。
半導体製造装置に要求される低発塵性、高スループット、及び繰り返し動作の耐久性について、最高性能を有しています。

次世代の直径450mmサイズのウェハに対応し、業界最高レベルのパーティクル抑制を実現した新機種

【主な特長】
本製品は、半導体業界における次世代技術とされる大口径の直径450mmのシリコンウェハを使用し、半導体を形成するプロセスの最新鋭搬送装置として開発したものです。
また、ウェハを出し入れする際に発生するパーティクル（ごみ）防止のため、開閉ドアを工夫して半導体装置内に外部からのパーティクルの進入を防ぎ、かつ本製品自身からのパーティクル発生を防ぐよう工夫しました。

特長1：思いのままに移動・展開できる組立式簡易クリーンブース
特長2：帯電防止剤練り込みシートを使用しているため、ホコリを寄せ付けません。
仕様1：CL-901にはファンフィルターユニット・ブースが含まれております。
重量：39.5kg
材質：アルミ（フレーム）、強化繊維入りPVCシート（帯電防止剤練り込み）（シート）
ブース容積：3.3～11m^3
厚さ：0.3mm（シート）
外形寸法：2000

仕様1：HEPA・プレフィルターを含むファン一式
適応機種：CL-901

仕様1：HEPAフィルターのみ
適応機種：CL-901

仕様1：清浄空間を仕切る間仕切りカーテン
仕様2：※写真のフレームは含みません。
適応機種：CL-901

仕様1：面ファスナー式で簡単にCL-901を2台連結可能。
適応機種：CL-901

仕様1：プレフィルターのみ
適応機種：CL-901/903
入数：4枚

特長1：新設計の低価格タイプ
重量：22kg
材質：強化繊維入り防炎タイプPVCシート(帯電防止剤練り込み)
ブース容積：10.5m^3
厚さ：0.3mm（シート）
外形寸法：2000（Ｗ）×2100（H）×2500（Ｄ）mm

L-424

特長1：ズーム比6.4 最高倍率45×のズーム式実体顕微鏡
特長2：像の明るさ、シャープさはもちろん、焦点深度の深い像を実現させた精密検視用ズーム式実体顕微鏡です。
特長3：検視しながら作業しやすい84mmの作動距離を確保。
特長4：支柱部からレンズ中心部まで133mmと奥行きが広く、検視作業が楽に行えます。

仕様1：レンズフィルター付
仕様2：※本製品には接眼レンズが含まれません。別途お求めください。

仕様1：アース線、クリップ（止め金具）2個 付属
ベース寸法：200（W）×255（D）mm

特長1：実体顕微鏡の標準組み合わせタイプ
特長2：電子機器の分野であらゆる作業に対応する、汎用性の高い実体顕微鏡の標準モデル。
特長3：静電気対策用導電性カラーマットや、ハンダの煙からレンズを守るレンズフィルターを装備。
特長4：豊富なオプションによるシステムアップのための基本型となり、コンバーションレンズや接眼レンズの組み合わせにより、5～80×までをカバーできます。

仕様1：レンズフィルター付
仕様2：※本製品には接眼レンズが含まれません。別途お求めください。

●自由度の高いマグネット固定ベース
●強力マグネットで磁性のある面に簡単に固定できます。スイッチ１つで簡単脱着。
●金属プレートが付属しているため、磁性がない面にも自立します。

適応機種：L-50/501
スライド幅：30mm

特長1：価格を抑えた固定倍率式実体顕微鏡
特長2：電子機器の分野で幅広い作業に対応する固定倍率式の実体顕微鏡。
特長3：長い作動距離・広い視野を保ったまま、コストを抑えました。
特長4：静電気対策用導電性カラーマット、ハンダの煙より対物レンズを守るレンズフィルターを標準装備。

仕様1：各種2個1組
仕様2：アイカップ付
適応機種：L-50/501
倍率：10×

仕様1：各種2個1組
仕様2：アイカップ付
適応機種：L-50/501
倍率：20×

仕様1：各種2個1組
仕様2：アイカップ付
適応機種：L-50/501
倍率：15×

仕様1：L-51 標準付属品
仕様2：レンズフィルター付
仕様3：※本製品には接眼レンズが含まれません。別途お求めください。

特長1：L-802、L-832を低倍率で使用する際の長い作動距離に対応した支柱。
重量：1.3kg
外形寸法：20mmφ×500mm